第4回 MICHINOOKセミナー 東北大学の半導体における最先端の取り組み―先端半導体材料・デバイス・製造技術、人材育成まで―

	プロフィール
	東北大学　理事・副学長（サイエンスパーク・復興新生・ナノテラス共創担当） 湯上 浩雄 1987.3 大阪大学大学院工学研究科博士後期課程単位取得退学    　 （1988年3月修了） 1987.4 東北大学科学計測研究所助手 1992.10 Max Planck Institute for Solid State Research 客員研究員 1995.1 東北大学工学部機械知能工学科助教授 2001.6 東北大学大学院工学研究科機械システムデザイン工学専攻教授 2004.4 東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー長（～2006.8まで） 2008.4 東北大学総長特任補佐（～2012年3月まで） 2012.4 東北大学工学研究科副研究科長（教育担当）（～2018.3まで） 2018.4 東北大学副理事 （大学院改革担当／教育研究システム改革担当）（～2021.3まで） 2021.4 東北大学工学研究科長・工学部長（～2023.3）    東北大学総長補佐（～2023.3） 2023.4 東北大学副理事（グリーン未来担当）（～2024.3まで）    東北大学グリーン未来創造機構 機構長（～現在） 2024.4 東北大学副学長（グリーン未来創造・復興新生担当）    　未来科学技術共同研究センター（NICHe） センター長 2025.4～ 現職
	東北大学大学院工学研究科 教授　好田 誠 2005年 東北大学大学院電子工学専攻博士後期課程修了 2005年～2010年 東北大学大学院知能デバイス材料学専攻助教 2010年～2022年 同准教授 2022年より同教授。量子科学技術研究開発機構 量子機能創製研究センター兼任(2022年～)。 その間、 2007～2012年JSTさきがけ研究員、2014年～2015年IBMチューリッヒ研究所研究員
	東北大学　未来科学技術共同研究センター / 大学院工学研究科 電子工学専攻 教授　黒田 理人 2010年　東北大学大学院工学研究科　博士課程修了 2010年　東北大学大学院工学研究科　助教、2014年准教授 2022年　東北大学未来科学技術共同研究センター　教授　現在に至る 一貫して、半導体集積回路製造技術、CMOSイメージセンサ技術の研究開発に従事。
	東北大学　流体科学研究所 統合流動科学国際研究教育センター 教授　遠藤 和彦 1993.4　NEC入社マイクロエレクトロニクス研究所勤務 1999.8　米国スタンフォード大学客員研究員 2002.1　シリコンシステム研究所　90nmCMOSの開発に従事 2004.4    産業技術総合研究所入所　ダブルゲートデバイスの開発に従事 2022.11  東北大学流体科学研究所　教授
	東北大学　未来科学技術共同研究センター 教授　白井 泰雪 1992年佐賀大学大学院理工学研究科工業化学専攻修士課程修了 同年(株)フジキン入社 1998年東北大学大学院工学研究科電子工学専攻博士課程修了 2006年フジキン退職、同年東北大学未来科学技術共同研究センター准教授 2014年同センター特任教授 2023年同センター教授、現在に至る。 この間半導体製造に関するクリーン化技術の開発に従事し、クリーンルーム技術、ガス供給技術、表面汚染・制御技術、洗浄技術等を開発。
	東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター センター長・教授 戸津 健太郎 2004年　東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻博士課程修了 同年、同ナノメカニクス専攻助手 2007年　東北大学産学官連携推進本部助教 2010年　東北大学マイクロシステム融合研究開発センター准教授 2021年　同教授、センター長 2024年　東北大学半導体クリエイティビティハブ　ハブ長

講演内容（予定）

好田先生ご講演
電子スピンが回転しながら空間伝搬するスピンの「波」を新たな情報担体に利用する学理構築と半導体産業の更なる発展に向けた次世代情報処理基盤を目指します。
半導体の電子スピン波は長い寿命と優れた制御性を兼ね備え、光情報通信とも相性が良い特徴を有します。
よって、半導体素子のスケーラビリティと融合させることで、既存技術の延長線上にない方法で、膨大な情報量を伝送・処理できる固体スピン波情報プラットフォームを構築します。

黒田先生ご講演
130dB超の広ダイナミックレンジ・70dB超のSNR・190~1100nmの分光波長帯域、毎秒2000万コマ／秒、0.1aFの容量検出精度等の性能を有する、東北大学発の技術で実用化してきたイメージセンサ技術と、未来情報産業研究館におけるこれらを用いた短TAT・高精度半導体製造技術への応用の取り組みと展望について紹介します。

遠藤先生ご講演
半導体技術の進歩は絶え間なく続いており、昨今技術世代2nmの集積回路の製品化と、その先の世代の研究開発が世界的に進められています。この2nm世代を境に、トランジスタ構造が大きく変化することになりました。
本講演では、この2nm世代以降の先端半導体プラットフォーム技術について紹介します。

白井先生ご講演
東北大学未来情報産業研究館では世界トップクラスのクリーンルーム、超高純度ガス供給系、超純水供給系等の優れたインフラ・ユーティリティ設備を有しており、これら基盤技術を活用し、さまざまな階層の企業（群）と産学連携を行い、単発の要素技術にとどまらず、材料・装置・プロセス・計測評価からデバイス・回路・システムまでの開発を行っています。
本セミナーでは未来情報産業研究館で行っている半導体製造技術開発の事例を紹介します。

戸津先生ご講演
国内最大級の半導体微細加工共用設備である「東北大学試作コインランドリ」におけるデバイス開発やデータ利活用の活動紹介をします。
分野はMEMS、通信、フォトニクス、半導体材料、半導体製造装置と多岐に渡っており、2010年のサービス開始以降、400以上の機関に利用いただいています。
また、半導体分野の人材育成を全学で推進するために設立した東北大学半導体クリエイティビティハブの活動も紹介します。